據(jù)發(fā)展北京消息，位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金橋科技產(chǎn)業(yè)基地的江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目近期剛剛開工。據(jù)項目負(fù)責(zé)人介紹，目前正在進(jìn)行工業(yè)廠房土方開挖，下一步將開始打樁作業(yè)，預(yù)計項目將于2022年底前竣工。
未來，江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目將建成一條用于半導(dǎo)體、平板顯示器產(chǎn)業(yè)的高純金屬靶材及零部件生產(chǎn)線，年產(chǎn)能將達(dá)到55000件，最終實現(xiàn)超高純Al、Ti、Ta、Cu、W、Mo等靶材以及設(shè)備關(guān)鍵部件的規(guī)模生產(chǎn)與銷售。
據(jù)介紹，濺射靶材是集成電路裝配的重要基礎(chǔ)原材料。北京商報指出，至2022年底項目完成后，廠內(nèi)濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件將進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)階段，未來將供給中芯國際，用于半導(dǎo)體、顯示面板等裝配?！澳壳?，我們提供的基礎(chǔ)零部件基本達(dá)到國內(nèi)一流水平，靶材精度最高可實現(xiàn)5納米?！?/p>
前述負(fù)責(zé)人表示，此次項目系江豐集團(tuán)落地北京的首個生產(chǎn)廠房。在此之前，其在湖南益陽、廣東惠州等地均已建廠，供給客戶包括中芯國際、京東方等?！按舜卧诰┙◤S也是考慮到方便為更多大客戶提供靶材，就近配套?！?/p>
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