作為全球第一光刻機(jī)供應(yīng)商,荷蘭ASML(阿斯麥)今天公布了2021年第二季度財(cái)報(bào)。

當(dāng)季,ASML凈銷售額40億歐元,毛利率50．9%,凈收入10億歐元,凈預(yù)訂額83億歐元,其中EUV極紫外光刻機(jī)就有49億歐元,而總的積壓訂單金額已達(dá)175億歐元。

ASML在財(cái)報(bào)中還披露,第一臺(tái)全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶,相比之前的NXE:3400C生產(chǎn)力提高了15-20%,覆蓋率(套刻精度)提高了約30%。

不過,ASML未透露接收客戶是哪一家。

ASML還表示,正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲(chǔ)行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用,計(jì)劃協(xié)助三個(gè)DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV。

ASML EUV光刻機(jī)目前還是第一代產(chǎn)品,EUV光源波長13．5nm左右,物鏡NA數(shù)值孔徑0．33,并發(fā)展了一系列型號(hào)。

最早量產(chǎn)出廠的是NXE:3400B,產(chǎn)能有限,晶圓產(chǎn)能只有125PWH,目前的出貨主力是NXE:3400C,產(chǎn)能提升到135WPH,而最新的NXE:3600D產(chǎn)能進(jìn)一步提升到160WPH,價(jià)格據(jù)說也達(dá)到了1．45億美元(約合人民幣9．38億元)。

第二代EUV光刻機(jī)將會(huì)是NXE:5000系列,物鏡NA提升到0．55,進(jìn)一步提高光刻精度,但原計(jì)劃2023年問世,現(xiàn)在推遲到2025-2026年,而價(jià)格預(yù)計(jì)將突破3億美元。

第三季度,ASML預(yù)計(jì)凈銷售額52-54億歐元,毛利率51-53%。