《電子技術(shù)應(yīng)用》
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5400萬,俄羅斯想對標ASML,研發(fā)超過EUV的光刻機?你信么?

2022-04-14
來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
關(guān)鍵詞: 俄羅斯 ASML EUV

近日,有媒體報道稱,在芯片全面被美國制裁后,俄羅斯打算自己研發(fā)光刻機,并且一出手就對標當前最牛的ASMLEUV光刻機技術(shù)。

而為了研發(fā)出這種光刻機,俄羅斯前期投資6.7億盧布(約5400萬元人民幣),由有著蘇聯(lián)硅谷中心之稱、以微電子專業(yè)見長的俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院 (MIET)來負責(zé)。

一時之間,網(wǎng)友們沸騰了,看好者有之,吐槽者有之。

有人說5400萬就想研發(fā)出比EUV更牛的光刻機,真的是做夢,要這么容易,中國早研發(fā)出來了,佳能、尼康也不至于被ASML打得找不著北了。

也有人看好,稱俄羅斯的理論技術(shù)還是很厲害的,一旦下定決心來研發(fā),說不定是有可能的,我們樂觀其成。

那么俄羅斯要搞的技術(shù),究竟是什么技術(shù)?為什么說比ASML的EUV光刻機還先進?其實是一種“無掩膜X射線光刻機”。

原理就是操作波長是0.01nm到10nm之間的X射線,直接在硅片上,刻畫出電路圖來,類似于激光刻章那種。

由于芯片的精度,一定程度上是與光線相對應(yīng)的,而EUV采用的是13.9nm波長的光源,所以從光源看,X射線似乎確實更厲害一點。

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其實這項技術(shù)在30年前就提出來了,但是你想一想,操縱X射頻,在硅片上直接刻幾十層、上百億個晶體管的電路圖,可不是刻章刻幾個字的問題,你想一想就知道有多難。

所以雖然30多年來一直有研究,但大家并沒有用于芯片制造,而是采用了現(xiàn)在的光刻原理,就是先制作電路圖的掩膜,再通過光刻機來照射,把掩膜上的電路刻到硅晶圓上,這樣雖然流程很復(fù)雜,但可操作性就大多了。

只是現(xiàn)在俄羅斯要想搞光刻機,沒有廠商敢與他合作,所以不得不另辟蹊徑,走這條看起來簡單,也不需要太多廠商合作的方式,這是沒有辦法的辦法。

至于能不能成功,又誰知道呢,反正除了ASML外,其它各國,甚至各大芯片企業(yè)都希望它能夠成功的,特別是中國,可是熱切的希望它能夠成功。




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