kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克" title="納斯達(dá)克">納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）今天發(fā)布其最新的探針式表面輪廓測(cè)量系統(tǒng) P-6?，該系統(tǒng)針對(duì)科學(xué)研究與生產(chǎn)環(huán)境（例如，光電太陽(yáng)能電池制造）提供一組獨(dú)特的先進(jìn)功能組合。P-6 系統(tǒng)受益于在先進(jìn)半導(dǎo)體輪廓儀系統(tǒng)上開(kāi)發(fā)的測(cè)量技術(shù)，但卻采用了較小與較經(jīng)濟(jì)的桌面型機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)，可接受最大至
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KLA-Tencor 的成長(zhǎng)與新興市場(chǎng)集團(tuán)副總裁 Jeff Donnelly 表示：“我們對(duì) P-6 探針系統(tǒng)的推出感到振奮，該系統(tǒng)將為科學(xué)與太陽(yáng)能客戶(hù)提供在應(yīng)用方面的最佳功能組合。對(duì)于太陽(yáng)能市場(chǎng)，P-6 擁有在開(kāi)發(fā)階段提高太陽(yáng)能電池效率，以及監(jiān)控生產(chǎn)制程" title="制程">制程質(zhì)量所需的分辨率、掃描質(zhì)量和自動(dòng)控制能力。”?
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融合 KLA-Tencor 的自動(dòng)化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術(shù)與效能的傳統(tǒng)： ?
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·????????????? 低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測(cè)量靈敏度?
·????????????? 小于 6 埃的步進(jìn)高度可重復(fù)性，確保了嚴(yán)苛的制程控制?
·????????????? 150 毫米 X-Y 樣本載臺(tái)可實(shí)現(xiàn)覆蓋整個(gè)基底的單一測(cè)量?
·????????????? 2D" title="2D">2D 應(yīng)力測(cè)量與分析可將缺陷降至最低并提升良率?
·????????????? 功能強(qiáng)大且容易使用的分析軟件，提供高階應(yīng)用的靈活性?
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P-6 輪廓儀已通過(guò)主要太陽(yáng)能產(chǎn)品制造商 BP Solar 的合格認(rèn)證。BP Solar 技術(shù)副總裁 Eric Daniels 表示：“我們對(duì) KLA-Tencor 的 P-6 系統(tǒng)的評(píng)估證明，它對(duì)于多種表面測(cè)量應(yīng)用系統(tǒng)的一系列制程條件具有高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導(dǎo)線觸點(diǎn)及前表面紋理結(jié)構(gòu)。對(duì)于支持我們的技術(shù)開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)改善，P6 將發(fā)揮重要價(jià)值。”?
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P-6 系統(tǒng)將于 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會(huì)第 9252 號(hào) KLA-Tencor 展臺(tái)上展出。?
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關(guān)于 KLA-Tencor： KLA-Tencor 是專(zhuān)為半導(dǎo)體和相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供制程控制及良率" title="良率">良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司總部設(shè)在美國(guó)加州的密爾必達(dá)市，銷(xiāo)售及服務(wù)網(wǎng)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標(biāo)準(zhǔn)普爾 500 強(qiáng)公司之一，并在納斯達(dá)克全球精選市場(chǎng)上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息，請(qǐng)參觀網(wǎng)站 http://www.kla-tencor.com。?