《電子技術(shù)應(yīng)用》
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全球IC工藝演進(jìn)史

2015-10-14

      集成電路( Integrated Circuit )簡稱為IC ,是一種微型電子器件或部件。它通過一系列工藝,把一個電路所需的晶體營、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。


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集成電路發(fā)展階段示意圖

   自1959 年第一塊集成電路發(fā)明以來,經(jīng)過50 多年發(fā)展,集成電路已經(jīng)形成了一個龐大的產(chǎn)業(yè)。 2014 年全球集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到3331.51 億美元。

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縱觀集成電路50 年來的發(fā)展歷程,自發(fā)明以來所取得的成功和產(chǎn)品增值主要?dú)w功于半導(dǎo)體制造技術(shù)的不斷進(jìn)步。

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集成電路技術(shù)進(jìn)步一般用微細(xì)加工精度和芯片集成度來衡量,前者指工藝水平,后者指單一芯片中所含有的晶體管數(shù)量。

 

IC上可容納的晶體管數(shù)目大約每隔18 到24 個月便會增加一倍,性能也將提升一倍。——摩爾定律

   按照芯片上特征尺寸的變化,以關(guān)鍵尺寸(CD) 一一即硅片上的最小特征尺寸為標(biāo)準(zhǔn),從20 世紀(jì)60 年代開始,全球集成電路生產(chǎn)線的主要技術(shù)節(jié)點(diǎn)由微米級、亞微米級、深亞微米級、一直演進(jìn)到納米級。

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目前,世界集成電路生產(chǎn)水平最高已經(jīng)達(dá)到14 納米,主流生產(chǎn)線的技術(shù)水平為28 納米。同時,晶圓尺寸也由3 英寸、4 英寸、 5 英寸、 6 英寸、8 英寸發(fā)展至目前的12 英寸,并且18 英寸也處于研發(fā)階段。


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