《電子技術(shù)應(yīng)用》
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突發(fā)!ASML斷供中芯國(guó)際,是怕美國(guó)不開(kāi)心

2019-11-09
來(lái)源:科技最前線(xiàn)

11月7日消息,據(jù)外媒報(bào)道,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾(ASML)將暫時(shí)停止向芯片制造商中芯國(guó)際供應(yīng)EUV極紫外線(xiàn)微影設(shè)備。

有消息人士透露稱(chēng):“ASML是為了避免因供應(yīng)最先端設(shè)備給中國(guó)、因而刺激到美國(guó),因此決定暫時(shí)中止交貨”。消息人士還補(bǔ)充表示:“但與此同時(shí),ASML不想讓中國(guó)客戶(hù)感到不安,因?yàn)槟抢锸瞧湓鲩L(zhǎng)最快的市場(chǎng)。”

所謂的EUV極紫外線(xiàn)微影設(shè)備,是使用通稱(chēng)極紫外線(xiàn)之極短波(13.5nm)光線(xiàn)的微影技術(shù),能加工至既有ArF 準(zhǔn)分子雷射光微影技術(shù)不易達(dá)到之20nm 以下的精密尺寸。不但能降低晶圓制造時(shí)光罩使用數(shù)量,以降低生產(chǎn)成本,并提高生產(chǎn)良率,也因能加工過(guò)去ArF 準(zhǔn)分子雷射光微影技術(shù)不易達(dá)到的20nm 以下之精密尺寸,更有助半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)摩爾定律(Moore's law)再往下延伸,讓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展持續(xù)精進(jìn)。

目前,ASML是EUV極紫外線(xiàn)微影設(shè)備的獨(dú)家制造商,ASML營(yíng)收占比中,有超過(guò)一半來(lái)自中韓兩國(guó),中芯國(guó)際更是其在華主要客戶(hù)。去年4月份,中芯國(guó)際向ASML訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)原定于2019年底交付,到2020年中期完成安裝,如今遇上停止斷供一事,無(wú)疑是兩敗俱傷的行為。


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