芯片從設計到制造,再到封裝測試,點沙成金的過程中耗費了大量的人力物力財力,每一個環節的質量、性能、良率都需要嚴格把控。眾所周知,單純的芯片測試并不能為芯片增加功能,也不能提升芯片性能。但芯片測試卻貫穿于半導體研發到量產的全部流程,成為半導體制造無法繞開的一環。芯片測試主要包括晶圓測試CP和成品測試FT,通過測試,廠商能夠及時發現芯片設計制造問題,從而提高芯片生產良率,保證出貨質量。
在半導體測試設備市場中,ATE測試設備占據了半導體測試設備的三分之二。其中,以泰瑞達(TERADYNE)和愛德萬測試的技術實力最為強勁,掌控著全球半導體測試設備90%的市場份額。泰瑞達技術積累雄厚,擁有完整的半導體測試解決方案,持續保障芯片質量,降低客戶測試成本。據泰瑞達銷售副總經理黃飛鴻介紹,面向SoC測試,泰瑞達已經推出了多款測試平臺,包括J750、UltraFLEX、EAGLE TEST SYSTEM等多個系列的測試設備。
在黃飛鴻看來,一定程度上,測試時間就等同于測試成本。因此,如何提升芯片測試效率,降低測試成本,已經成為當前半導體市場亟待解決的難題。在UltraFLEX測試設備的基礎上,泰瑞達推出了UltraFLEXplus,采用了全新PACE架構,結合IG-XL軟件,為半導體測試市場又添利器。
芯片工藝持續下探,測試挑戰日益突顯
從半導體制程工藝的演進過程來看,可大致將其分為三個時代??梢钥吹剑瑥?990年至2025年,半導體工藝逐漸從0.8um下探至3nm甚至2nm,隨著半導體工藝不斷演進,芯片尺寸越來越小,片上晶體管集成度也越來越高。這就意味著芯片上集成了更多的模擬、數據傳輸和接口功能。相應地,芯片測試技術也隨之不斷演進,以滿足日趨復雜的芯片功能需求。
“先進工藝的演進帶來了測試時間的增加。”黃飛鴻指出,日趨龐大的芯片規模持續拉高了芯片設計復雜度,對于SCAN、BIST、標準化接口等測試需求也隨之提高。以處理器芯片為例,SCAN和BIST測試是檢驗工藝成熟度的標準,工藝尺寸越小,測試時間越長。而對于模擬和射頻芯片來說,Trimming測試則占據了越來越多的時間。
此外,單工位測試嚴重拖慢了芯片測試速度,拉長了測試時間,從而導致測試成本在整體芯片售價中占比很高。先進工藝越往下探,對測試設備并行測試能力的要求就越高。而在工藝下探至10nm以下,晶體管數量增速已經遠超過芯片測試技術的更新速度,接口板與測試工位也不可能無限制增加,ATE測試設備面臨著新一輪挑戰。
“另一個(ATE測試設備面臨的)挑戰是,隨著工藝尺寸縮減至10nm及以下,晶圓初次量產的良率不斷下降。”黃飛鴻表示,單芯片尺寸(die size)則從原來的200mm2增大到800mm2,相應失效密度也在不斷提高。對于800mm2的die size,10nm工藝下,晶圓初次量產良率還不足10%。
底層架構升級,為芯片測試降本增效
面對復雜度更高的手機、處理器、射頻等芯片,泰瑞達推出了UltraFLEXplus高性能SoC測試平臺。在UltraFLEX系列測試平臺的基礎之上,該平臺對探測器接口板進行了全新設計,并首次采用了PACE多控制器架構?!皬腏750到UltraFLEX,再到UltraFLEXplus,泰瑞達采用了統一的軟件平臺IG-XL?!痹邳S飛鴻看來,這也是泰瑞達最大的競爭優勢,測試程序可全面兼容,直接提高了工程師開發效率。
區別于前代接口板設計,UltraFLEXplus采用全新Broadside技術,接口板尺寸增大,PCB層數將大幅縮減20%?!叭鬚CB層數很多,加工難度將會帶來更大的失效率。”另一方面,全新的接口板管腳呈對稱分布,布局布線更加清晰,有效減少了繞線長度,能夠有效減少PCB板卡設計要求,大幅提高信號完整性和電源完整性,并行測試能力也隨之提高。
“PACE多控制器架構是UltraFLEXplus測試平臺獨有架構,能夠將算力下放,提升處理效率。”黃飛鴻表示,PACE架構通過中間工作站主控,將算力全部下放至每塊板卡上,由每塊板卡獨立CPU來執行指令和測量計算。此外,UltraFLEXplus搭載了第三代數字板卡,采用開放式、可升級、分布式計算等架構,能夠整體提高測試效率,結合IG-XL軟件平臺,縮減了20%的工程開發時間,能夠在更少時間內開發出更優化的測試程序。
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據黃飛鴻介紹,UltraFLEX測試平臺全球裝機量已經達到5000套,而IG-XL軟件平臺裝機也超過了12000套。自2020年以來,UltraFLEXplus全球裝機量也已經接近600套,已經在兩家主要晶圓代工廠以及5家OSAT安裝使用。泰瑞達具備豐富的市場驗證經驗,UltraFLEXplus新平臺發布一年半時間內,已經獲得了主要客戶的廣泛好評,應用在數字計算芯片領域。