《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 電子元件 > 業界動態 > 半導體工藝制程不斷縮小 高遷移率溝道材料需求迫切

半導體工藝制程不斷縮小 高遷移率溝道材料需求迫切

2022-04-10
來源:新思界網

在科研力度不斷加大、國家政策支持下,未來我國高遷移率溝道材料研究成果將不斷增多,在半導體技術持續升級下,高遷移率溝道材料行業發展前景廣闊。

溝道,是場效應晶體管中源區和漏區之間的半導體薄層,是半導體中由于外加電場引起的沿長度方向的導電層。遷移率,是單位電場強度下所產生的載流子平均漂移速度,遷移率與載流子濃度共同決定了半導體的電導率。隨著半導體技術不斷進步,市場對高遷移率溝道材料的需求日益迫切,高遷移率溝道材料研發的重要性日益突出。

根據新思界產業研究中心發布的《2021-2025年高遷移率溝道材料行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示,高遷移率的意義在于可以利用更小體積的晶體管提供更大的電流。全球半導體制造技術迅速提升,工藝制程不斷縮小,進入90nm節點時,依靠縮小晶體管溝道長度的方法已經無法大幅提升集成電路性能,特別是隨著7nm時代到來,高功能集成度的新型器件不斷問世,傳統溝道材料已經無法滿足升級需求,高遷移率溝道材料因此成為研究重點。

傳統晶體管所用溝道材料主要是硅材料,硅材料性質優異且均衡,但其介電常數較低,在先進制程工藝中應用受到限制,隨著制程工藝進入7nm、5nm節點,硅材料性能開發已經接近物理極限。同時,其他新型材料例如石墨烯、過渡金屬硫化物等雖然部分性能得到提升,但仍有缺點。在此情況下,開發高遷移率溝道材料需求極為迫切。

在我國,2018年,北京大學研究團隊,通過對Bi2O2Se材料進行熱氧化處理,得到高K柵介質材料Bi2SeO5薄膜,突破了二維高遷移率半導體器件與超薄介電層集成這一瓶頸,并在此基礎上,結合氫氟酸選擇性刻蝕技術與微納加工技術,制備了高性能場效應晶體管,其遷移率超過300cm2V-1s-1。

我國“十四五”國家重點研發計劃“納米前沿”重點專項中,提出圍繞新型溝道材料的規模化制備、硅基兼容與器件性能提升的問題,研制200℃下電學性質穩定的超薄高遷移率溝道材料及高k柵介質的晶圓(直徑大于兩英寸)。在科研力度不斷加大、國家政策支持下,未來我國高遷移率溝道材料研究成果將不斷增多,在半導體技術持續升級下,高遷移率溝道材料行業發展前景廣闊。

新思界行業分析人士表示,我國是全球電子產品生產大國,2015年以來,我國半導體材料市場呈現穩定增長態勢,即使2019年全球半導體材料市場下行、2020年新冠疫情爆發,我國半導體材料需求仍保持上升趨勢。2020年,我國半導體材料市場規模約為96億美元,初步估算2021年市場規模將超過100億美元。在此背景下,我國高遷移率溝道材料市場空間不斷擴大。




最后文章空三行圖片.jpg


本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 精品视频在线看| 久久夜色精品国产欧美| 你懂的视频网站| 日韩免费三级电影| 午夜成人在线视频| eeuss影院www天堂免费| 欧美乱子欧美猛男做受视频伦xxxx96| 国产成人AV综合色| 一级片网站在线观看| 欧美精品亚洲精品日韩专区va| 日本xxxx18护士| 免费特级黄毛片| 2022国产麻豆剧果冻传媒影视 | 直接进入免费看黄的网站| 国产色欲AV一区二区三区| 久久精品无码午夜福利理论片| 羞羞漫画喷水漫画yy视| 国内精品卡1卡2卡区别| 久久精品成人免费观看| 福利所第一导航| 国产真乱全集mangent| 亚洲成av人影片在线观看| 91国高清视频| 日韩a无v码在线播放| 免费国产高清视频| 亚洲另类专区欧美制服| 性放荡日记高h| 亚洲国产天堂久久综合| 美女被免网站在线视频| 国产精品视频yuojizz| 中文字幕视频不卡| 欧美日韩国产伦理| 国产精品亚洲欧美日韩区| 久久久999久久久精品| 浪货一天不做就难受呀| 国产区精品一区二区不卡中文| avtt天堂在线| 日本高清乱理论片| 别揉我奶头~嗯~啊~视频在线观看| 两个人看的视频高清在线www| 成人777777|