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MEMS傳感器和智能傳感器的發展
所屬分類:
技術論文
上傳者:
serena
文檔大小:
141 K
標簽:
MEMS
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文檔介紹:
MEMS傳感器和智能傳感器是新型傳感器的代表,具有集成化和智能化的特點。
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