郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結(jié)構(gòu)芯片設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì) 2016-08-09 關(guān)鍵詞： 微納米 內(nèi)容簡介：郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結(jié)構(gòu)芯片設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
