一個產品，從實驗室到工廠，最難走的一段路是中試。因高成本低產出甚至無產出，對許多實驗室里的前沿技術來說，中試期猶如一條看不見亮光的黑暗通道，無緣靠利潤和市場來維持。記者昨天來到位于嘉定工業區北區的我國首條“超越摩爾”中試線，探訪這家立志突破我國半導體產業“中試盲區”的研發創新平臺。

超潔凈的“懸空”廠房

穿上抗靜電的潔凈服、鞋子、手套、口罩后，經過風淋房將身上的微塵全部吹走……每天，上海微技術工業研究院MEMS技術工程總監徐元俊和他的同事們，都把自己裝扮成超潔凈的“白企鵝”，才能進入8英寸“超越摩爾”研發中試線，近5000平方米的十級潔凈室，要求一分鐘內每立方英尺空間內，大于0.2微米的微塵少于10顆！超級潔凈室共有4個區域，分別為光刻區、薄膜區、刻蝕區和擴散區。硅片在“淬煉”成晶圓成品的100至200道工序中，不可沾染微塵，否則可能前功盡棄。

為此，整座廠房的設計費盡思量——層高8.8米的二樓分為3層，整個“中試線”的主要設備似乎“懸空”在中間層——看不見的上下兩層，除鋪設供應氣體和化學品的管道外，還布滿了用于“清洗”空氣的設施。

“8英寸”產線國際領先

這樣的精益求精，只為我國在“超越摩爾”領域真正有所作為。上海微技術工業研究院8英寸研發中試線廠長、運營副總裁游家杰指著閃閃發光的硅片，如數家珍：“一片8英寸晶圓直徑達20厘米，分布著幾百顆到數萬顆不等的元器件。”要知道，在“超越摩爾”領域，業界還普遍使用6英寸產線，上海中試線卻亮出了國際領先卻少人問津的“8英寸”。

這條全新的試驗線上，每一位“超越摩爾”人心中都有一個信念：喜慶十九大，我國的科學創新必須從“跟跑”到“領跑”，前沿技術的中試環節要敢為人先！

縱觀我國超越摩爾領域現狀，經歷多年的理論研究與技術驗證，但實際應用與生產平臺嚴重脫節。這源于微機電系統產品研發涉及的技術鏈條較長，其“非標”特性使得研發創新和生產之間匹配度不高，需要漫長的磨合期。

貫通研發到測試“閉環”

上月，作為上海科創中心建設“四梁八柱”中的重要節點之一，國內首條專注“超越摩爾”領域，面向微機電系統的8英寸中試線亮相，在國內半導體產業界引發了一場不小的“創新地震”——從前期研發到后期測試“閉環”有望被貫通。

一個月來，“超越摩爾”中試線上燈火通明，各崗位科技人員用實際行動迎接十九大的召開：為本月底即將完成的第一批產品溫度傳感器緊張忙碌著。一旦成功，這條月產量3000片晶圓的中試線，將為許多實驗室里尖端的傳感器技術，鋪設一條走向市場的“光輝之路”。