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要超車臺積電 三星采用 EUV 技術 7 納米制程完成驗證

2018-06-20

  在晶圓代工市場中,臺積電三星的競爭始終是大家所關心的戲碼。其中,三星雖然有高通這樣的VIP 客戶,但在 7 納米制程節(jié)點上,高通預計會轉(zhuǎn)投回臺積電的情況下,三星要想受到更多的客戶的青睞,只能從工藝技術上著手了。

  這也是三星為什么跳過非 EUV 技術的 7 納米制程,直接上 7 納米 LPP EUV 制程技術的原因。如今,三星終于公布了他的 7 納米 LPP 制程已經(jīng)完成了新斯科技(Synopsys)的物理認證,意味著 7 納米 EUV 制程將可以進行全球量產(chǎn)了。

  事實上,目前在全球的前幾大晶圓代工廠商中,英特爾的10 納米制程還沒搞定,因此距離 7 納米制程就更遙遠了。而臺積電的 7 納米制程量產(chǎn)比較順利,會有蘋果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客戶陸續(xù)流片、量產(chǎn)。不過,臺積電的第一代 7 納米制程,使用的還是傳統(tǒng)的多重曝光技術,一直必須到 2019 年得第 2 代 7 納米制程才會使用 EUV 光刻技術。

  格羅方德方面也走臺積電相似的路線,預計2018 年量產(chǎn)的 7 納米 DUV 制程還是傳統(tǒng)的深紫外光刻技術。對此,號稱頻率可達 5GHz 的 AMD 7 納米 Zen 2處理器就會使用格羅方德的 7 納米制程技術,2019 年初問世,2020年 的再下一代才是 7 納米 EUV 制程技術。

  相對于其他競爭對手,三星在EUV 技術上是最積極的。也就是三星直接跳過了第一代非 EUV 光刻的 7 納米制程,直接使用加入 EUV 技術的 7 納米 LPP 制程,并且預定在 2018 年下半年正式量產(chǎn)。日前,新斯科技與三星已經(jīng)聯(lián)合宣布,三星使用的 7 納米 LPP 制程技術完成了 IC 驗證器的認證工作了。

  在三星完成這次的認證之后,三星的7 納米 LPP 制程就可以立即提供認證的技術資料,包括 DRC 設計規(guī)則檢查、LVS 布局與原理圖、金屬填充技術檔等等給予相關客戶,而這也意味著三星的 7 納米 LPP 制程正式進入可以量產(chǎn)的階段。

  目前在EUV 光刻技術競爭激烈下,各家大廠搶 EUV 光刻機也成為重要經(jīng)營項目之一。根據(jù)之前的消息,ASML 的 EUV 光刻機中,臺積電訂購了大約 10 臺,三星訂購了大約 6 臺,英特爾訂購了 3 臺,而格羅方德的EUV訂單數(shù)量不詳,中芯國際也訂購了 1 臺 EUV 光刻機,將用于 7 納米制程技術研究上,預計 2019 年初交貨。而就在各家廠商手中都握有 EUV 光刻機的情況下,似乎未來在7納米節(jié)點上要勝出,就必須對比大家的最后的技術與管理能力了。


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