德中合作新平臺(tái)——江蘇MEMS智能傳感器研究院于不久前在南京正式揭牌成立了，這是由陳立新博士人才團(tuán)隊(duì)、德國國家微系統(tǒng)傳感器研究院、德爾森集團(tuán)、江寧開發(fā)區(qū)多方共同設(shè)立運(yùn)營，致力于打造成從事智能MEMS傳感器技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化解決方案的傳感器研發(fā)平臺(tái)。
德爾森一直專注于工業(yè)級壓力、差壓傳感器的開發(fā)與制造，是國內(nèi)第一家擁有自己單晶硅傳感器芯片的企業(yè)，填補(bǔ)了我國工業(yè)級MEMS單晶硅傳感器芯片無法自主研發(fā)與制造的空白。在近日舉辦的2018中國（上海）傳感器技術(shù)與應(yīng)用展覽會(huì)（SENSOR CHINA 2018）上，德爾森帶來了一款超小型的重量級產(chǎn)品——WET TO WET的單晶硅壓力芯片。
江蘇MEMS智能傳感器研究院銷售總監(jiān)王崢
顛覆性的單晶硅壓力芯片
“傳統(tǒng)的單晶硅壓力和差壓傳感器芯片不能直接接液，腐蝕性的氣體或者液體對它都會(huì)造成腐蝕或短路，導(dǎo)致?lián)p壞。” 江蘇MEMS智能傳感器研究院銷售總監(jiān)王崢說道，“我們現(xiàn)在推出的第七代WMD芯片是可以直接接觸腐蝕性氣體或液體的，稱為WET TO WET，不需要再充硅油做隔離保護(hù)，是目前整個(gè)行業(yè)里唯一一家推出此款芯片，將來產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，傳統(tǒng)的利用惰性硅油做隔離傳導(dǎo)的觀念可能就會(huì)一去不復(fù)返。”
該芯片的應(yīng)用場景與德爾森第五代、第六代的MD和HMD的芯片一樣，都可以用于工業(yè)、醫(yī)療等行業(yè)。由于不需要充油保護(hù)，它的靈敏度和傳導(dǎo)性都有很大的提升，測量精度和穩(wěn)定性會(huì)進(jìn)一步提高。
高性價(jià)比的陶瓷/金屬單晶硅芯片
展會(huì)中還展出了陶瓷/金屬單晶硅芯片，主要優(yōu)點(diǎn)是性價(jià)比高。王崢介紹：“該產(chǎn)品毫伏輸出信號比較大，用于小量程和抗腐蝕性傳感器都是很不錯(cuò)的，相比傳統(tǒng)行業(yè)的壓力傳感器如：陶瓷電容、陶瓷壓阻、擴(kuò)散硅、金屬電容，都有很大的優(yōu)勢。”
研究院開發(fā)，子公司量產(chǎn)
據(jù)王崢介紹，江蘇MEMS智能傳感器研究院旗下孵化了很多子公司，由研究院首先針對存在的問題和前端技術(shù)做開發(fā)，研發(fā)成果之后就會(huì)轉(zhuǎn)移旗下的這些子公司去生產(chǎn)、銷售，量產(chǎn)是由生產(chǎn)企業(yè)來完成。
WMD芯片剛剛發(fā)布，預(yù)計(jì)在明年會(huì)實(shí)現(xiàn)芯片的封裝與小批量生產(chǎn)。王崢介紹：“德國主要給我們提供流片加工，芯片的封裝及應(yīng)用開發(fā)都是在國內(nèi)完成。WMD芯片樣片已經(jīng)出來了，提供給我院，我院將會(huì)著手研發(fā)后期封裝及應(yīng)用。”
目前德爾森的產(chǎn)品較大部分應(yīng)用于石油化工行業(yè)，由于整個(gè)化工廠區(qū)非常大，里面人員又相對很少，流量、液位、管道壓力的控制都需要用到相應(yīng)的傳感器。對于智能家居、智慧城市、工業(yè)物聯(lián)，在將來會(huì)逐步實(shí)現(xiàn)全面的智能化，傳感器的應(yīng)用市場也會(huì)加速壯大。
“目前國內(nèi)MEMS加工技術(shù)還有很多路要走，我們和德國緊密結(jié)合，目的是探索和發(fā)現(xiàn)國外的管理理念和新的技術(shù)，我們通過研究院把這些先進(jìn)的東西帶到國內(nèi)，造福我們國人。”
隨著國內(nèi)傳感器行業(yè)的發(fā)展，流片的需求越來越大，王崢透露將來可能會(huì)在南京建立一套全新的流片工藝線：“目前和德國是一個(gè)合作的關(guān)系，那邊對流片的生產(chǎn)工藝輕車熟路，到了一個(gè)恰當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)，我們完全有可能上一條自己的生產(chǎn)線。”
據(jù)介紹，目前德爾森在中國設(shè)立了兩個(gè)研發(fā)中心，一個(gè)在重慶，一個(gè)在南京，后期可能會(huì)規(guī)整到南京，以集團(tuán)的形式出現(xiàn)，南京將成為其唯一的研發(fā)出口。
中國是德爾森最重要的市場之一，也是目前最大的市場。基于在中國的生產(chǎn)基地，德爾森的策略是首先把根扎好，先把中國市場發(fā)展好，再往外走，最新的WMD芯片也將首先在國內(nèi)市場推出，相信不久就能體驗(yàn)其顛覆性成果了。