《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設計 > 業界動態 > 碳化硅VS氮化鎵,寬禁帶半導體材料雙雄能否帶中國實現彎道超車

碳化硅VS氮化鎵,寬禁帶半導體材料雙雄能否帶中國實現彎道超車

2019-03-05

在現實世界中,沒有人可以和“半導體”撇清關系。雖然這個概念聽上去可能顯得有些冰冷,但是你每天用的電腦,手機以及電視等等,都會用到半導體元件。半導體的重要性自不必說,今天我們來說一下半導體產業中一個很關鍵的組成部分,那就是半導體材料。

半導體材料是制作晶體管、集成電路、電力電子器件、光電子器件的重要材料。其發展經過了三個主要階段:以硅為代表的第一代半導體材料、以砷化鎵為代表的第二代半導體材料、以碳化硅為代表的第三代半導體材料。第三代半導體材料在眾多方面具有廣闊的應用前景,隨著技術的進步,材料工藝與器件工藝的逐步成熟在高端領域將逐步取代第一代、第二代半導體材料,成為電子信息產業的主宰。

今天我們主要說的就是第三代寬禁帶半導體材料。

第三代半導體材料—寬禁帶半導體材料

當前,電子器件的使用條件越來越惡劣,要適應高頻、大功率、耐高溫、抗輻照等特殊環境。為了滿足未來電子器件需求,必須采用新的材料,以便最大限度地提高電子元器件的內在性能。近年來,新發展起來了第三代半導體材料-- 寬禁帶半導體材料,該類材料具有熱導率高、電子飽和速度高、擊穿電壓高、介電常數低等特點,這就從理論上保證了其較寬的適用范圍。目前,由其制作的器件工作溫度可達到600 ℃以上、抗輻照1×106 rad;小柵寬GaN HEMT 器件分別在4 GHz 下,功率密度達到40 W/mm;在8 GHz,功率密度達到30 W/mm;在18 GHz,功率密度達到9.1 W/mm;在40 GHz,功率密度達到10.5 W/mm;在80.5 GHz,功率密度達到2.1 W/mm,等。因此,寬禁帶半導體技術已成為當今電子產業發展的新型動力。

進入21世紀以來,隨著摩爾定律的失效大限日益臨近,尋找半導體硅材料替代品的任務變得非常緊迫。在多位選手輪番登場后,有兩位脫穎而出,它們就是氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)——并稱為第三代半導體材料的雙雄。

碳化硅材料

1548660737259003934.jpg

碳化硅(SiC)俗稱金剛砂,為硅與碳相鍵結而成的陶瓷狀化合物,碳化硅在大自然以莫桑石這種稀罕的礦物的形式存在。SiC是目前發展最成熟的寬禁帶半導體材料,已經形成了全球的材料、器件和應用產業鏈。

SiC 器件和電路具有超強的性能和廣闊的應用前景,因此一直受業界高度重視,基本形成了美國、歐洲、日本三足鼎立的局面。目前,國際上實現碳化硅單晶拋光片商品化的公司主要有美國的Cree 公司、Bandgap 公司、Dow Dcorning 公司、II-VI公司、Instrinsic 公司;日本的Nippon 公司、Sixon 公司;芬蘭的Okmetic 公司;德國的SiCrystal 公司,等。其中Cree 公司和SiCrystal 公司的市場占有率超過85%。在所有的碳化硅制備廠商中以美國Cree 公司最強,其碳化硅單晶材料的技術水平可代表了國際水平,專家預測在未來的幾年里Cree 公司還將在碳化硅襯底市場上獨占鰲頭。美國Cree 公司1993 年開始有6H 碳化硅拋光片商品出售,過去的十幾年里不斷有新品種加入,晶型由6H 擴展到4H;電阻率由低阻到半絕緣;尺寸由2寸到6寸,150 mm(6英寸)拋光片已投入市場。

氮化鎵材料

氮化鎵

1548660737357060417.jpg

氮化鎵(GaN、Gallium nitride)是氮和鎵的化合物,是一種直接能隙*的半導體,在大氣壓力下,GaN晶體一般呈六方纖鋅礦結構,它在一個元胞中有4個原子,原子體積大約為GaAs 的1/2;其化學性質穩定,常溫下不溶于水、酸和堿,而在熱的堿溶液中以非常緩慢的速度溶解;在HCl 或H2 下高溫中呈現不穩定特性,而在N2 下最為穩定。GaN 材料具有良好的電學特性,寬帶隙(3.39 eV)、高擊穿電壓(3×106 V/cm)、高電子遷移率(室溫1 000 cm2/V·s)、高異質結面電荷密度(1×1013 cm-2)等,因而被認為是研究短波長光電子器件以及高溫高頻大功率器件的最優選材料,相對于硅、砷化鎵、鍺甚至碳化硅器件,GaN 器件可以在更高頻率、更高功率、更高溫度的情況下工作。另外,氮化鎵器件可以在1~110GHz 范圍的高頻波段應用,這覆蓋了移動通信、無線網絡、點到點和點到多點微波通信、雷達應用等波段。近年來,以GaN 為代表的Ⅲ族氮化物因在光電子領域和微波器件方面的應用前景而受到廣泛的關注。

作為一種具有獨特光電屬性的半導體材料,GaN 的應用可以分為兩個部分:憑借GaN 半導體材料在高溫高頻、大功率工作條件下的出色性能可取代部分硅和其它化合物半導體材料;憑借GaN半導體材料寬禁帶、激發藍光的獨特性質開發新的光電應用產品。目前GaN 光電器件和電子器件在光學存儲、激光打印、高亮度LED 以及無線基站等應用領域具有明顯的競爭優勢,其中高亮度LED、藍光激光器和功率晶體管是當前器件制造領域最為感興趣和關注的。

GaN 功率器件的制作工藝與GaAs 工藝相似度高,甚至很多設備都是同時支持兩種材料的工藝,因此,很多GaAs 器件廠商逐漸增加GaN 器件業務。目前,整個GaN 功率半導體產業處于起步階段,各國政策都在大力推進該產業的發展。國際半導體大廠也紛紛將目光投向GaN 功率半導體領域,關于GaN 器件廠商的收購、合作不斷發生,650V以下的平面型HEMT器件已經實現了產業化。

碳化硅與氮化鎵的優缺點:

第三代寬禁帶半導體材料應用領域

半導體照明

LED襯底類別包括藍寶石、碳化硅、硅以及氮化鎵。藍光LED在用襯底材料來劃分技術路線。SiC襯底有效地解決了襯底材料與GaN的晶格匹配度問題,減少了缺陷和位錯,更高的電光轉換效率從根本上帶來更多的出光和更少的散熱。氮化鎵具有禁帶寬度大、擊穿電壓高、熱導率大、電子飽和漂移速度高、抗輻射能力強和良好的化學穩定性等優越特性,是迄今理論上電光、光電轉換效率最高的材料體系。時至今日,氮化鎵襯底相對于藍寶石、碳化硅等襯底的性能優勢顯而易見,最大難題在于價格過高。
功率器件

2015年,SiC功率半導體市場(包括二極管和晶體管)規模約為2億美元,到2021年,其市場規模預計將超過5.5億美元,這期間的復合年均增長率預計將達19%。毫無懸念,消耗大量二極管的功率因素校正(PFC)電源市場,仍將是SiC功率半導體最主要的應用。

目前市場上主要GaN產品是應用于高功率密度DC/DC電源的40-200伏增強性高電子遷移率異質節晶體管(HEMT)和600伏HEMT混合串聯開關,國外廠商主要有EPC、IR、Transphorm、Panasonic、ExaGaN、GaN Systems等公司。中國GaN相關企業有IDM公司中航微電子、蘇州能訊,材料廠商中稼半導體、三安光電、杭州士蘭微等公司。

微波器件

GaN高頻大功率微波器件已開始用于軍用雷達、智能武器和通信系統等方面。在未來,GaN微波器件有望用于4G~5G移動通訊基站等民用領域。市調公司Yole預測,2016~2020年GaN射頻器件市場將擴大至目前的2倍,市場復合年增長率(CAGR)將達到4%;2020年末,市場規模將擴大至目前的2.5倍。GaN在國防領域的應用主要包括IED干擾器、軍事通訊、雷達、電子對抗等。GaN將在越來越多的國防產品中得到應用,充分體現其在提高功率、縮小體積和簡化設計方面的巨大優勢。

激光器和探測器

在激光器和探測器應用領域,GaN激光器已經成功用于藍光DVD,藍光和綠色的激光將來巨大的市場空間在微型投影、激光3D投影等投影顯示領域,藍色激光器和綠光激光器產值約為2億美元,如果技術瓶頸得到突破,潛在產值將達到500億美元。2014年諾貝爾獎獲得者中村修二認為下一代照明技術應該是基于GaN激光器的“激光照明”,有望將照明和顯示融合發展。目前,只有國外的日本日亞公司(Nichia)、和德國的歐司朗(Osram)等公司能夠提供商品化的GaN基激光器。

由于氮化鎵優異的光電特性和耐輻射性能,還可以用作高能射線探測器。GaN基紫外探測器可用于導彈預警、衛星秘密通信、各種環境監測、化學生物探測等領域,例如核輻射探測器,X射線成像儀等,但尚未實現產業化。

半導體材料發展趨勢

寬禁帶半導體材料作為一類新型材料,具有獨特的電、光、聲等特性,其制備的器件具有優異的性能,在眾多方面具有廣闊的應用前景。它能夠提高功率器件工作溫度極限,使其在更惡劣的環境下工作;能夠提高器件的功率和效率,提高裝備性能;能夠拓寬發光光譜,實現全彩顯示。隨著寬禁帶技術的進步,材料工藝與器件工藝的逐步成熟,其重要性將逐漸顯現,在高端領域將逐步取代第一代、第二代半導體材料,成為電子信息產業的主宰。

我國彎道超車的機會來了?

雖然我國寬禁帶功率半導體創新發展的時機已經逐步成熟,處于重要窗口期。然而目前行業面臨的困難仍然很多,一個產業的發展與兩個方面有關:一個是技術層面,另一個重要問題就是產業的生態環境。

目前國內產業的創新鏈并沒有打通,整體創新環境較差。從事寬禁帶半導體研發的研究機構、企業單體規模小,資金投入有限,研發創新速度慢,成果轉化困難。

然而在寬禁半導體材料方面卻有比較樂觀的一面,中鎵半導體目前已建成國內首家專業的GaN襯底材料生產線,制造出厚度達1100微米的自支撐GaN襯底,并能夠穩定生產。2018年2月初,中鎵半導體氮化鎵襯底量產技術獲得重大突破,實現國內首創4英寸GaN自支撐襯底的試量產。

天域半導體是我國首家專業從事第三代半導體碳化硅外延片研發、生產和銷售的高新技術企業。據悉,早在2010年,該公司就與中國科學院半導體所合作成立了“碳化硅技術研究院”。目前,天域半導體可提供6英寸SiC晶圓,以及各種單極、雙極型SiC功率器件。

風華高科是一家專業從事新型元器件、電子材料、電子專用設備等電子信息基礎產品的高科技上市公司。

第三代寬禁帶半導體材料,可以被廣泛應用在各個領域,且具備眾多的優良性能,可突破第一、二代半導體材料的發展瓶頸,故被市場看好的同時,隨著技術的發展有望全面取代第一、二代半導體材料。目前,美國、日本、歐洲在第三代半導體SiC、GaN、AlN等技術上擁有絕對的話語權。相比美、日,我國在第三半導體材料上的起步較晚,水平較低,但由于第三代半導體還有很大的發展空間,各國都處于發力階段,因此被視作一次彎道超車的機會。

總結

我國展開SiC、GaN材料和器件方面的研究工作比較晚,與國外相比水平比較低。但是隨著國家戰略層面支持力度的加大,且具有迫切的市場需求,因此我國將有望集中優勢力量一舉實現技術突破!
路漫漫其修遠兮,吾將上下而求索。或許是概括這一行業的最好判語了。


本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
欧美激情办公室aⅴ_国产欧美综合一区二区三区_欧美午夜精品久久久久免费视_福利视频欧美一区二区三区

          极品日韩久久| 亚洲综合不卡| 国产精品毛片在线| 亚洲欧美成人| 国内精品久久久久久久果冻传媒 | 久久国产一区| 亚洲一二三区精品| 久久福利电影| 激情久久久久久久| 久久亚洲色图| 国产精品永久| 亚洲精品国产系列| 国内精品国语自产拍在线观看| 亚洲免费不卡| 欧美日韩国产综合视频在线| 国产精品一级| 影音先锋在线一区| 欧美一区二区三区免费看| 亚洲精品美女| 欧美日韩免费高清| 国产精品一二| 亚洲另类视频| 亚洲欧洲精品一区二区三区波多野1战4 | 一区二区免费在线视频| 亚洲欧美大片| 国产精品久久久对白| 影音先锋亚洲电影| 黑丝一区二区| 欧美成人高清| 羞羞答答国产精品www一本| 亚洲欧洲精品一区二区| 国产自产在线视频一区| 欧美激情第8页| 欧美a级片一区| 久久亚洲风情| 你懂的亚洲视频| 老司机久久99久久精品播放免费| 亚洲一区二区在线看| 国产视频不卡| 亚洲综合国产| 亚洲女人av| 久久精品网址| 欧美~级网站不卡| 午夜久久资源| 国模 一区 二区 三区| 欧美午夜精品| 一区在线播放| 国产精品乱码一区二区三区| 国产精品毛片在线| 噜噜噜久久亚洲精品国产品小说| 久久精品国产第一区二区三区最新章节| av成人毛片| 午夜精品剧场| 国产精品一区在线播放| 久久高清免费观看| 久久综合九色综合欧美狠狠| 欧美黄色免费| 在线播放日韩| 亚洲一区二区三区精品视频| 久久久久久九九九九| 欧美a级片网站| 国产精品videossex久久发布| 亚洲视频碰碰| 国产精品久久久对白| 国产乱码精品| 欧美午夜在线视频| 在线午夜精品| 欧美~级网站不卡| 亚洲福利免费| 乱人伦精品视频在线观看| 久久永久免费| aa级大片欧美三级| 先锋影音一区二区三区| 国产精品初高中精品久久 | 亚洲人成毛片在线播放女女| 国产精品一区二区欧美| 久久一本综合频道| 亚洲精品自在在线观看| 裸体一区二区| 亚洲精品欧洲| 欧美日韩大片一区二区三区| 中文亚洲字幕| 狠色狠色综合久久| 国产毛片久久| 亚洲精品乱码| 狠狠久久婷婷| 欧美日本亚洲| 六月婷婷久久| 国产精品日韩欧美一区| 尹人成人综合网| 欧美区日韩区| 另类国产ts人妖高潮视频| 日韩亚洲国产精品| 国产精品v日韩精品v欧美精品网站| 国产精品一区亚洲| 一区二区三区精品国产| 亚洲视频碰碰| 狠狠入ady亚洲精品| 狼狼综合久久久久综合网| 国产精品永久入口久久久| 亚洲国产精品毛片| 国模 一区 二区 三区| 欧美高清不卡| 欧美精品一区二区三区久久久竹菊| 先锋影音久久| 亚洲欧美99| 欧美中文日韩| 久久青草久久| 欧美国产综合视频| 欧美不卡高清| 国产精品地址| 亚洲一本视频| 亚洲伦伦在线| 亚洲少妇一区| 亚洲深夜激情| 麻豆91精品| 欧美一区二区三区久久精品| 欧美一区免费| 欧美日韩大片一区二区三区| 欧美日韩1区2区3区| 国产精品国产一区二区| 影音先锋亚洲精品| 亚洲福利久久| 一区二区激情| 久久久久久穴| 欧美日本三区| 99精品视频免费全部在线| 国产视频一区三区| 免费一区视频| 欧美日韩成人一区二区三区| 在线观看欧美一区| 亚洲在线黄色| 国产一区二区在线观看免费播放| 91久久午夜| 亚洲欧美日韩国产| 欧美日韩亚洲一区三区| 一本色道精品久久一区二区三区| 香蕉视频成人在线观看| 亚洲欧美综合一区| 亚洲黄网站黄| 噜噜噜躁狠狠躁狠狠精品视频| 欧美精品三级| 一本综合精品| 国产精品v欧美精品v日本精品动漫| 国产综合视频| 久久久久久网| 亚洲全部视频| 欧美精品激情| 久久福利一区| 日韩天天综合| 欧美午夜a级限制福利片| 亚洲一卡久久| 99亚洲精品| 久久亚洲美女| 亚洲视频在线二区| 精品二区久久| 国内久久视频| 欧美理论在线| 国产视频一区欧美| 国产精品sm| 亚洲欧美日本视频在线观看| 欧美日韩精品一本二本三本| 亚洲激情婷婷| 欧美午夜免费影院| 美女91精品| 国产欧美一级| 亚洲一本视频| 国产精品99一区二区| 亚洲一区二三| 一区二区三区高清视频在线观看| 欧美日韩喷水| 欧美高清日韩| 久久久久一区二区| 亚洲一区二区免费看| 91久久黄色| 欧美精品色网| 午夜精品亚洲| 欧美 日韩 国产 一区| 国产精品日本| 中文网丁香综合网| 亚洲日本精品国产第一区| 欧美日韩亚洲国产精品| 欧美成人69av| 欧美日韩中文| 国产精品magnet| 国内精品久久久久国产盗摄免费观看完整版 | 国产一区二区高清| 亚洲美女少妇无套啪啪呻吟| 国产一区清纯| 欧美视频久久| 欧美性久久久| 狠狠色综合网站久久久久久久| 久久一区二区三区av| 久久久久免费| 午夜精品亚洲一区二区三区嫩草| 久久资源在线| 欧美日韩精品一本二本三本| 欧美视频一区| 亚洲激情一区二区三区| 一区二区三区四区五区精品视频 | 亚洲高清精品中出| 激情久久一区| 一区二区激情| 久久久久看片| 国内外成人免费视频| 亚洲人体大胆视频| 亚洲一区日韩| 午夜精品亚洲| 99re6热在线精品视频播放速度 | 亚洲激情啪啪| 国产欧美亚洲一区| 久久另类ts人妖一区二区| 欧美一区二区三区免费看| 欧美日韩三级| 一区二区国产精品| 欧美在线播放| 亚洲精品在线观看免费| 久久成人国产| 伊人蜜桃色噜噜激情综合| 国产一区二区高清不卡| 欧美一区二区三区四区在线观看地址| 欧美视频亚洲视频| 国产一级久久| 国内成人在线| 亚洲欧美清纯在线制服| 亚洲欧美在线网| 亚洲三级电影在线观看| 久久国产精品一区二区三区| 欧美日韩一区在线视频| 午夜一区二区三区不卡视频| 1000部精品久久久久久久久| 亚洲综合好骚| 欧美日韩国产综合视频在线| 亚洲另类黄色| 欧美aⅴ99久久黑人专区| 精品白丝av| 美日韩免费视频| 亚洲精品久久久久久一区二区| 亚洲一区在线直播| 亚洲午夜精品久久| 久久激情一区| 一区二区av| 欧美成人一区二免费视频软件| 亚洲成人资源| 欧美日韩综合网| 久久精品女人天堂| 亚洲理论在线| 在线看片日韩| 欧美视频1区| 欧美va亚洲va日韩∨a综合色| 国产精品毛片| 一本色道久久综合亚洲精品婷婷| 国产一区清纯| 欧美日韩国产高清视频| 久久精品国产第一区二区三区最新章节 | | 亚洲精品日韩久久| 欧美主播一区二区三区美女 久久精品人| 亚久久调教视频| 欧美高清视频一区| 国产三级精品在线不卡| 影音先锋在线一区| 国产精品二区在线观看| 久热精品视频| 欧美国产91| 欧美久久视频| 欧美精品自拍| 欧美特黄视频| 国产精品成人观看视频免费| 久久天堂成人| 久久精品亚洲| 久久久精品性| 久久蜜桃精品| 欧美日韩三级电影在线| 国产精品vip| 在线观看福利一区| 99精品视频免费观看视频| 在线天堂一区av电影| 国产精品免费一区二区三区在线观看| 国产欧美日韩综合一区在线播放| 99国内精品久久久久久久软件| 99精品欧美| 亚洲综合欧美日韩| 久久成人国产| 国产免费成人| 亚洲视频成人| 久久精品官网| 国产精品草草| 欧美在线网站| 亚洲成色精品| 亚洲综合精品四区| 午夜精品国产| 99综合精品| 鲁大师影院一区二区三区| 欧美1区2区3区| 在线观看成人av| 国产亚洲精品v| 久久久夜夜夜| 亚洲国产免费看| 久久精品一本| 99精品国产高清一区二区| 鲁鲁狠狠狠7777一区二区| 欧美日一区二区三区在线观看国产免| 亚洲激情二区| 欧美91福利在线观看| 亚洲乱码视频| 欧美日韩喷水| 久久av最新网址| 亚洲精品1区| 欧美69wwwcom| 国产精品日韩| 亚洲激情黄色| 一区二区激情| 激情综合网址| 麻豆成人小视频| 99亚洲伊人久久精品影院红桃| 欧美1区2区| 久久国产精品高清| 亚洲精品1区2区| 欧美婷婷久久| 欧美成人日本| 蜜桃视频一区| 翔田千里一区二区| 国产一区二区黄色| 99热精品在线| 亚洲经典在线| 亚洲国产精品久久久久婷婷老年| 欧美国产专区| 欧美一区二区三区久久精品| 国产伦一区二区三区色一情| 99国产精品视频免费观看一公开| 黄色av日韩| 欧美视频二区| 国产精品v亚洲精品v日韩精品 | 国产农村妇女毛片精品久久莱园子 | 国产精品久久久久久久久婷婷 | 午夜日本精品| 久久精品亚洲一区二区| 国产乱码精品| 久久福利精品| 久久久久99| 久久尤物视频| 欧美日韩国产在线一区| 欧美精品日本| 国语精品中文字幕| 精品91在线| 一本综合久久| 亚洲免费网址| 欧美在线91| 亚洲先锋成人| 欧美激情一区| 狠狠色综合网| 激情久久综合| 91久久夜色精品国产九色| 亚洲国产精品一区二区第四页av| 亚洲性图久久| 国产农村妇女毛片精品久久莱园子| 亚洲一区视频| 久久精品中文字幕一区二区三区| 久久久水蜜桃| 韩国久久久久| 香蕉av777xxx色综合一区| 国产一区二区你懂的| 在线看片一区| 亚洲精品一品区二品区三品区| 欧美日韩影院| 亚洲精选在线| 久久久精品动漫| 国精品一区二区| 一区二区三区视频在线播放| 性高湖久久久久久久久| 欧美黄色大片网站| 亚洲精品欧洲| 亚洲自啪免费| 国产综合自拍| 亚洲欧美精品| 国产精品女主播一区二区三区| 国产一区二区三区的电影| 在线视频精品| 噜噜噜噜噜久久久久久91| 久久综合导航| 一区二区三区我不卡| 国产欧美日韩亚洲一区二区三区| 在线亚洲国产精品网站| 久久性色av| 亚洲精品社区| 久久久精品日韩| 亚洲精品三级| 欧美精品一区二区三区在线看午夜 | 欧美激情成人在线| 亚洲精品婷婷| 欧美精品七区| 午夜亚洲一区| 99国产精品| 欧美三区美女| 久久亚洲美女| 亚洲神马久久| 亚洲国产午夜| 欧美日韩一区二| 久久一区欧美|