提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應(yīng)商，7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設(shè)備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產(chǎn)品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用于5nm及更先進工藝，使得產(chǎn)能大漲600％。
隨著制程工藝不斷提升，晶圓的制造也越來越復(fù)雜，這也會導(dǎo)致晶圓中的錯誤更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術(shù)的檢測系統(tǒng)，內(nèi)部也有復(fù)雜的光電子系統(tǒng)，能夠產(chǎn)生、控制多個電子束，然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓質(zhì)量，并有高速運行的平臺以控制測試的晶圓數(shù)量，還要有計算系統(tǒng)處理電子束的數(shù)據(jù)。
簡單來說，ASML研發(fā)的這個HMI eScan1000機器就是一臺驗證先進工藝生產(chǎn)出來的晶圓質(zhì)量的系統(tǒng)，工藝越先進，檢測系統(tǒng)就越重要，它的檢測精度、吞吐量決定了生產(chǎn)的效率。
ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時產(chǎn)生、控制九道電子束，所以產(chǎn)能提升了600％，可以大大減少晶圓質(zhì)量分析所用的時間。
目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先進工藝的晶圓測試，已經(jīng)交付給客戶進行測試驗證，未來ASML還會推出光束更多的測試設(shè)備以滿足客戶對先進工藝的要求。
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