京工業(yè)大學(xué)科學(xué)技術(shù)創(chuàng)成研究院特種功能集成研究小組的特聘教授 -- 大場(chǎng)隆之教授于 2020 年 6 月宣布，研發(fā)了不會(huì)損傷超薄晶圓、晶圓切片留白（Dicing Street）寬度縮小至原來(lái)四分之一的激光切片加工技術(shù)。

根據(jù)日媒 Eetimes.jp 報(bào)道，此次新技術(shù)是以東京工業(yè)大學(xué)為主導(dǎo)，與研究小組“WOW 聯(lián)盟”（由從事半導(dǎo)體元件設(shè)計(jì)、相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備、材料的企業(yè)組成）合作研發(fā)的。

圍繞半導(dǎo)體元件的高性能、低功耗技術(shù)研發(fā)在不斷推進(jìn)。比方說(shuō)，晶圓厚度做到微米級(jí)別，運(yùn)用 TSV（Through-Silicon-Via）排線技術(shù)做到三維壓層等。

為了實(shí)現(xiàn)三維壓層，切割薄膜晶圓時(shí)，需要消除晶圓邊上的裂紋（Chippping）、且縮小切片留白（Dicing Street）的寬度。其中，被稱為隱形切割（Stealth Dicing, SD）的激光切割技術(shù)頗受關(guān)注。

研發(fā)小組在此次研發(fā)中著重致力于薄膜晶圓切割工程中的“晶圓損傷程度與發(fā)生位置的定量分析”、“削減切片留白（Dicing Street）”。

在實(shí)驗(yàn)中，實(shí)驗(yàn)小組制作了線寬、線距分別為 1um 的 TEG（Test Element Group）檢測(cè)晶圓。此款用于測(cè)試的芯片的 A1 和 Ti 的成膜厚度分別為 30nm。此外，為了檢出晶圓的損害位置，在激光加工區(qū)域（即 Dicing Street 區(qū)域）平行地設(shè)計(jì)了間距為 1um 的“監(jiān)測(cè)線路”。在切片后，計(jì)算了各個(gè)監(jiān)測(cè)線路的阻值變化率，并評(píng)價(jià)了激光加工引起的損害。

左上為 TEG 晶圓，左下為排線結(jié)構(gòu)、中間為排線的擴(kuò)大圖，右邊為排線的斷面構(gòu)造圖 （圖片出自：東京工業(yè)大學(xué)）

實(shí)驗(yàn)中，使用了 TEG 晶圓，模擬“SDBG（Stealth Dicing Before Grinding）”工藝，使用波長(zhǎng)為 1099nm 和 1342nm 的激光進(jìn)行加工，評(píng)價(jià)了對(duì)厚度為 50um 的晶圓的損害程度。

實(shí)驗(yàn)表明，用波長(zhǎng)為 1099nm 的激光進(jìn)行加工后，排線的阻值沒(méi)有增加，沒(méi)有對(duì)晶圓造成損害。與之相對(duì)，用波長(zhǎng)為 1342nm 的激光進(jìn)行加工后，作業(yè)中心附近的排線阻值大幅度增加，且晶圓的加工中心附近被破壞。

左圖：用波長(zhǎng)為 1342nm 的激光切割后的排線阻值，右圖：用波長(zhǎng)為 1099nm 的激光切割后的排線阻值 （圖片出自：東京工業(yè)大學(xué)）
 

同時(shí)也比較了用 SD 方法進(jìn)行切割后的切片留白（Dicing Street）的寬度。在以往的 DBG（Dicing Before Grinding）工藝中，切片留白的寬度為 60um。此次使用 SDBG 工藝后，切片留白的寬度為 15um，寬度縮短了四分之一。芯片的面積越小，寬度的縮短越對(duì)提高芯片良率有益。

切片留白（Dicing Street）的寬度，左側(cè)為概略圖，右側(cè)為 DBG 和 SDBG 的比較圖 （圖片出自：東京工業(yè)大學(xué)）
 

將留白寬度從 60um 縮短至 15um 后的芯片數(shù)量增長(zhǎng)率（圖片出自：東京工業(yè)大學(xué)）

 
未來(lái)，針對(duì)此次研發(fā)的 Damage Less Dicing（晶圓無(wú)損切割）技術(shù)的實(shí)用化，此研究小組的目標(biāo)是盡快制造出波長(zhǎng)為 1099nm 的激光專用光學(xué)引擎。