據臺媒 DigiTimes 報道，臺積電5nm 使用了先進的技術與特殊處理，預計晶圓成本將相當昂貴。根據美國 CSET 計算，以5nm 計數器制造的12吋晶圓成本約1.6988萬美元，遠高于7nm 成本9346美元。
根據此前信息，臺積電5nm 工藝在今年一季度已大規模投產，為蘋果、華為等廠商代工最新處理器，預計會貢獻今年近一成的營收。
據悉，臺積電總裁魏哲家此前在技術論壇上表示，相較7nm，5nm 速度提升15%，功耗降低30%，電晶體密度提升80%，加強版5nm 預計2021年量產，以5nm 為基礎發展的4nm 將于2021年第4季試產。
5nm晶圓之所以貴，主要是工藝復雜，EUV多達14層，每一層都要動用ASML的Twinscan NXE光刻機，這臺設備單價超1.2億美元。另外，目前是5nm大規模量產的初期，良率在逐漸拉升，后期成本會慢慢降下來。
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