上海新陽公告，擬定增募資不超過14.5億元，擬將8.15億元用于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目，3.35億元用于集成電路關(guān)鍵工藝材料項目，3億元用于補充公司流動資金。

其中，光刻膠項目主要開發(fā)集成電路制造中ArF干法工藝使用的光刻膠和面向3D NAND臺階刻蝕的KrF 厚膜光刻膠產(chǎn)品及配套試劑。

公司表示，力爭于 2023 年前實現(xiàn)上述產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。預(yù)計本項目研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化成功后，公司將掌握包括光刻膠主要原料純化工藝、產(chǎn)品配方、生產(chǎn)工藝和應(yīng)用工藝技術(shù)在內(nèi)的、具有完整知識產(chǎn)權(quán)的 ArF 干法光刻膠和 KrF 厚膜光刻膠的規(guī)模化生產(chǎn)技術(shù)，可實現(xiàn)兩大類光刻膠產(chǎn)品及配套試劑的量產(chǎn)供貨，并預(yù)計將取得 20 個以上發(fā)明專利。

上海新陽還在公告中表示，若項目按計劃進度進行，預(yù)計 KrF 厚膜光刻膠 2021 年開始實現(xiàn)少量銷售，2022 年可實現(xiàn)量產(chǎn)，預(yù)計 ArF（干式）光刻膠項目在 2022 年可實現(xiàn)少量銷售，2023 年開始量產(chǎn)，預(yù)計當(dāng)年各項產(chǎn)品銷售收入合計可達近 2 億元。

集成電路關(guān)鍵工藝材料項目通過新建廠房、引進國內(nèi)外先進的自動化生產(chǎn)設(shè)備和高端技術(shù)人才，提升公司半導(dǎo)體相關(guān)超純化學(xué)材料產(chǎn)品生產(chǎn)制造能力。通過實施本項目，公司將為芯片銅互聯(lián)超高純硫酸銅電鍍液系列、芯片刻蝕超純清洗液系列等產(chǎn)品合計新增年產(chǎn)能 17000 噸。

上海新陽是國內(nèi)半導(dǎo)體材料龍頭。據(jù)公告，公司傳統(tǒng)封裝領(lǐng)域功能性化學(xué)材料銷量與市占率長年保持全國第一。上市之初，公司將業(yè)務(wù)方向聚焦在銅互連、電鍍液、清洗液、光刻膠以及部分研磨液等領(lǐng)域。

上海新陽近日披露三季報，公司第三季度凈利1.51億元，同比增長1089.36%；扣非后凈利1481.21萬元，同比增15.94%。