半導(dǎo)體測試領(lǐng)導(dǎo)廠商思達(dá)科技，今天宣布推出晶圓級光學(xué)器件測試解決方案——思達(dá)阿波羅Apollo WLBI。這款新系統(tǒng)是通過包括傳統(tǒng)的電子量測，加上光學(xué)監(jiān)控的高度平行量測能力和替換測試時間，滿足5G光學(xué)器件的晶圓級老化測試需求。

　　思達(dá)阿波羅Apollo WLBI 全方位測試解決方案

　　思達(dá)阿波羅Apollo WLBI是先進(jìn)集成的全方位測試解決方案，整套設(shè)備包含訂制的模塊化Apollo WLBI Per-pin SMU測試系統(tǒng)、Magic A200e探針臺和垂直探針卡。Apollo WLBI可以從測試通道數(shù)量、電壓、電流位準(zhǔn)、靜態(tài)或動態(tài)設(shè)定等等進(jìn)行配置。由于每個Per-pin SMU有超過6000個通道，電壓和電流范圍不同，此系統(tǒng)可對每個通道進(jìn)行尋源和監(jiān)控，以確定被測器件隨時間推移是通過或是失敗。

　　思達(dá)阿波羅Apollo WLBI Per-pin SMUs測試系統(tǒng)

　　同時，探針臺設(shè)計了熱夾頭，在平行器件老化循環(huán)可以具有高功率和800W的散熱能力，使得器件在老化過程中，能夠保持在工作溫度的條件。探針臺還包括了一個高溫和機(jī)械穩(wěn)定性的探針卡轉(zhuǎn)接器（＞6000 pins），專利的真空密封界面，用在和測針卡進(jìn)行恒定的電子和光學(xué)接觸。高負(fù)載Z軸移臺可在夾頭上施加超過400公斤的探測力，且平面性變化小于10um，進(jìn)而確保老化循環(huán)中良好的探測接觸。

　　高針數(shù)探針卡界面

　　800W高耗散熱夾頭

　　思達(dá)科技執(zhí)行長劉俊良博士說，“思達(dá)阿波羅Apollo WLBI是先進(jìn)的集成測試解決方案，支持行業(yè)客戶在5G光學(xué)器件的測試需求。用戶也可以通過射手座Sagittarius系列的測試平臺，以較低的成本來管理整個測試程序。”