基于DSP增益可控的光刻機測高電路的設計研究
2021年電子技術應用第8期
趙英偉，郝曉亮，張文雅，馬培圣，文黎波
中國電子科技集團公司第十三研究所，河北 石家莊050051
摘要： 介紹了激光三角法高度測量技術和基于數字信號處理器DSP與線陣CCD的激光高度測量系統。采用比例恒流源和鏡像恒流源組合，設計了輸出功率穩定可調的激光二極管驅動電路和線陣CCD的驅動電路，借助DSP定時器周期調節靈活的優點，方便地調節光積分時間來提高信號質量。針對光刻工藝中不同的測量對象表面的光學特征，自動進行激光二極管增益控制和光積分時間調節，提高測量的適應性和測量效率。
中圖分類號： TN405
文獻標識碼： A
DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.201252
中文引用格式： 趙英偉，郝曉亮，張文雅，等. 基于DSP增益可控的光刻機測高電路的設計研究[J].電子技術應用，2021，47(8)：120-122，132.
英文引用格式： Zhao Yingwei，Hao Xiaoliang，Zhang Wenya，et al. Design and research of height measuring circuit based on DSP with adjustable gain for the lithography machine[J]. Application of Electronic Technique，2021，47(8)：120-122，132.
文獻標識碼： A
DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.201252
中文引用格式： 趙英偉，郝曉亮，張文雅，等. 基于DSP增益可控的光刻機測高電路的設計研究[J].電子技術應用，2021，47(8)：120-122，132.
英文引用格式： Zhao Yingwei，Hao Xiaoliang，Zhang Wenya，et al. Design and research of height measuring circuit based on DSP with adjustable gain for the lithography machine[J]. Application of Electronic Technique，2021，47(8)：120-122，132.
Design and research of height measuring circuit based on DSP with adjustable gain for the lithography machine
Zhao Yingwei，Hao Xiaoliang，Zhang Wenya，Ma Peisheng，Wen Libo
The 13th Research Institute of China Electronics Technology Group Coporation，Shijiazhuang 050051，China
Abstract： This article briefly introduces the laser triangulation height measurement technology, and the laser height measurement system based on digital signal processor DSP and linear array CCD. Using a combination of proportional constant current source and mirror constant current source, a laser diode drive circuit with stable and adjustable output power is designed. The driving circuit of the linear CCD is given. With the advantage of flexible adjustment of the DSP timer period, it is convenient to adjust the light integration time to improve the signal quality.According to the optical characteristics of different measuring object surfaces, the laser diode gain control and light integration time adjustment are automatically performed to improve the adaptability and efficiency of measurement.
Key words : laser triangulation；linear array CCD；digital signal processor DSP；lithography machine
0 引言
光刻工藝是大規模集成電路生產中的關鍵工藝。為了在晶圓上獲得高分辨率的光刻圖形，光刻設備必須盡可能精確地將晶圓平行放置到鏡頭的焦平面上。
如果晶圓在工件臺上的高度出現變化，會導致聚焦偏差，引起束斑或光斑增大、加工的線條模糊，曝光圖形出現拼接缺陷等問題[1]。
所以高度測量系統要能夠精確測量，能夠對不同的晶圓厚度、膠層厚度或者溫度和氣壓所引起的聚焦位置變化等因素的影響進行補償[2]。
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作者信息：
趙英偉，郝曉亮，張文雅，馬培圣，文黎波
(中國電子科技集團公司第十三研究所，河北 石家莊050051)
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