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芯片加工制造的陰陽交織

2022-12-30
來源:21ic

傳統上,半導體的工藝演進只看制造環節,但伴隨平面微縮技術接近物理極限,封裝技術在先進工藝發展中的作用越來越大。由于技術門檻和附加值相對較低,封裝測試環節最早從芯片加工制造過程中被剝離,成為獨立子行業,這就是封裝測試業被簡稱為OSAT(外包封測業務,Outsourced Semiconductor Assembly and Test)的原因,其重心也最早從歐美轉移到亞洲地區。

傳統上,半導體的工藝演進只看制造環節,但伴隨平面微縮技術接近物理極限,封裝技術在先進工藝發展中的作用越來越大。

“釣到了一條大魚”

在2019中國封裝測試技術與市場年會上,中國工程院許居衍院士就指出,經典2D縮放已經“耗盡”現有的技術資源,由于復雜SoC投入大、風險高、開發周期長,單純依靠平面工藝尺寸微縮來實現性能翻番的方法已經失靈。三維集成,尤其是三維異質集成,成為當前最受關注的提高集成度的技術方向。

中芯國際聯席首席執行官趙海軍也表示,摩爾定律紅利剩下的節點不多了,但系統復雜度需求仍將按原來的軌道繼續走下去。方法就是把增加的部分放到另外的芯片中去,然后疊拼起來,采用系統封裝方式來增加集成度。

趙海軍進一步指出,由于先進工藝技術的學習曲線成本太高,把一個大芯片分成幾個小芯片來生產以后,在封裝層面上實現系統集成,可以讓成品率大幅度提高,提前完成升級換代。

封裝成為撬動集成度演進的新支點,從主要廠商的投入程度也可以看出來。近日,英特爾就在中國召開媒體會,罕見地專門介紹其先進封裝技術,并將封裝作為六大支柱技術之一的一部分。通過封裝級集成和SoC分解,在封裝層面實現更好的PPA(功耗、性能、面積),從而延續摩爾定律。

而全球晶圓代工龍頭臺積電,在張忠謀退而復出之際,就開始籌劃進入封裝領域,而封裝成為與三星爭奪蘋果手機處理器訂單的勝負手。“工藝那么落后,有什么好做的?”亞智科技股份有限公司資深銷售處長簡偉銓告訴探索科技(techsugar),最開始臺積電內部并不看好封測項目,但真正做進去以后,發現封裝技術對先進工藝的支撐不容小覷,“我們釣到了一條大魚”。

多方獲益的面板級扇出型封裝

幫助臺積電釣到大魚的技術,就是晶圓級扇出封裝(FO-WLP),臺積電稱之為InFO(整合型扇出封裝,Integrated Fan-out)。

據亞智科技股份有限公司資深技術經理鄭海鵬介紹,扇出型封裝最早由飛思卡爾(現恩智浦)在2007年引入量產,飛思卡爾的扇出型封裝被命名為RCP,即芯片重組封裝(RCP,Redistributed Chip Package),是系統級封裝的一種。英飛凌、英特爾等整合元件制造商(IDM)也隨后推出類似的封裝,日月光、長電等封測廠商則更晚一點推出類似封裝。

由于良率和成本的問題,早期扇出型封裝的市場接受度并不高,扇出型封裝真正開始火爆是在臺積電2016年量產InFO以后。利用InFO,臺積電將 16 納米邏輯 SoC 芯片和 DRAM 芯片做整合,達到了功耗低、體積小、散熱佳、頻寬高的效果,并于當年拿下蘋果手機處理器的全部訂單。

在先進封裝技術上嘗到甜頭的臺積電一發不可收,繼續加大制造工藝與封裝工藝的聯合研發,據供應鏈消息,現在臺積電最先進的7納米制程芯片,其封裝指定只能在臺積電工廠生產。

晶圓級扇出封裝,非常適合臺積電這種代工企業,因為可以利用舊晶圓制造產線來改造成封裝制造產線(在晶圓上做封裝),但封測企業則需要較大投入。產業界還在開發的一種扇出型封裝技術,即面板級扇出封裝(FO-PLP,Fan-Out Panel Level Package)。

顧名思義,面板級扇出封裝利用面板設備來做封裝,相比晶圓級扇出封裝,具有成本低、面積使用率高(生產效率高)等特點。不像半導體制造中舊工藝仍有客戶使用,由于小尺寸平面顯示器市場需求已經極度萎縮,面板廠已經開始將小尺寸產線淘汰,但是這些小尺寸面板生產線,可以通過生產面板級扇出封裝,繼續發揮余熱。對面板廠商而言,這是有益無害的嘗試。

鄭海鵬還表示,由于扇出型封裝都不需要底板,PCB廠商不免擔心被擠出系統級封裝市場。有了面板級扇出封裝,PCB廠商也可以通過技術改造和設備升級,快速跨入先進封裝市場。

而對傳統封測廠而言,投資FOPLP產線的成本,也相對更低。

舊市場的擴充,新技術的導入

作為總部在德國的設備廠商,亞智的優勢是在光伏、面板和PCB市場,在封測領域是地道的新人。當被問到為何會進入封測設備市場,簡偉銓解釋,目前亞智在封測領域的嘗試會集中在面板級扇出封裝上,而在這個方向,亞智之前在面板領域和PCB領域的經驗都可以借鑒。

“這是舊市場的擴充,與新技術的導入”,鄭海鵬認為,面板級扇出封裝是新技術,但扇出封裝市場已經被培育起來,所以只要技術開發順利,量產以后并不用擔心市場需求。鄭海鵬還表示,與晶圓級扇出封裝相比,面板級扇出封裝,將會集中在相對中低端的應用,高端高性能扇出型封裝,還是會采用晶圓級封裝。

目前已經有三星等廠商在嘗試面板級扇出封裝,但簡偉銓認為,面板級扇出封裝真正在市場上有良好表現,還要等三五年。“市場對新技術有一個接受期,就像OLED,最早推出OLED技術的廠商,并未在市場上取得先機。”

新技術的引入,也許走錯方向,最終銷聲匿跡;也許突破障礙,成長為市場上不可忽視的力量;甚至一飛沖天顛倒陰陽,改變了原有格局。不管哪種方式,技術發展史總是難易相間、陰陽交織地螺旋式上升,循環往復,以至無窮。



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