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華為公開“半導體裝置以及半導體裝置的制作方法”專利

2024-02-05
來源:集微網

企查查顯示,近日華為技術有限公司新增多條專利信息,其中一條名稱為“一種半導體裝置以及半導體裝置的制作方法”,公開號為CN117501441A。

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專利摘要顯示,本申請實施例公開了一種半導體裝置以及半導體裝置的制作方法。一種半導體裝置包括:硅通孔以及依次層疊的第一芯片,第二芯片和第五絕緣層。第一芯片包括具有第一開口的第一絕緣層;第一開口暴露出第一電連接層。硅通孔包括相連的第一段硅通孔和第二段硅通孔;第一段硅通孔位于第一開口中,第一段硅通孔的底部為第一電連接層;第二段硅通孔貫穿第二芯片,第二段硅通孔的底部連接第一段硅通孔,頂部連接第三電連接層;第一金屬通孔的底部連接第二電連接層,頂部連接第三電連接層。第一電連接層和第二電連接層通過硅通孔、第一金屬通孔和第三電連接層形成電連接。實施本申請實施例,可以減小或避免因為電荷堆積,造成的硅通孔刻蝕過程中硅橫向刻蝕。

據悉,截至2022年底,華為持有超過12萬項有效授權專利,主要分布在中國、歐洲、美洲、亞太、中東和非洲。其中,華為在中國和歐洲各持有4萬多項專利,在美國持有22,000多項專利。華為2023年前三季度研發費用為1149.91億元,預計10年間累計研發費用可突破萬億元。根據歐盟2023年最新數據,華為研發費用排名世界第五。

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