2024年3月20日，半導(dǎo)體行業(yè)盛會 SEMICON China 2024啟幕，全球高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商德國PVA TePla集團(tuán)再次亮相，并向行業(yè)展示其最新打造的國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備“SiCN”。該設(shè)備專為中國市場定制，并結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)特點(diǎn)，將德國的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和理念與中國本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢聯(lián)合，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)碳化硅晶體，計(jì)劃于2024年第二季度投入市場。

PVA TePla亮相SEMICONChina2024

　　“作為PVA TePla在華打造的首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備，‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求，為中國市場提供成熟穩(wěn)定的工藝設(shè)備，進(jìn)一步幫助合作伙伴提升市場競爭力。”德國PVA TePla集團(tuán)半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國區(qū)負(fù)責(zé)人謝秀紅表示，“中國已成為全球第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中碳化硅襯底制造的重要基地。PVA TePla在晶體生長設(shè)備設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)，未來將持續(xù)致力于加強(qiáng)本土化供應(yīng)鏈建設(shè)，完善本土團(tuán)隊(duì)的技術(shù)服務(wù)能力，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。”

　　打造首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備

　　在中國，電動汽車和諸多新興行業(yè)的蓬勃發(fā)展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機(jī)遇。碳化硅半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)技術(shù)日漸成熟穩(wěn)定，并已形成相當(dāng)?shù)墓I(yè)規(guī)模。作為最早將碳化硅晶體設(shè)備引入中國市場的企業(yè)之一，德國PVA TePla集團(tuán)始終致力于融合中德前沿技術(shù)優(yōu)勢。“SiCN”融匯了中國的本土化采購、生產(chǎn)配套能力和德國的技術(shù)積累和傳承，通過設(shè)備更好的可靠性和一致性運(yùn)行，有效提高良品率，在降低制造成本的同時達(dá)到更優(yōu)效益，幫助下游客戶有效提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競爭力。

PVA TePla碳化硅晶體生長設(shè)備

　　·定制化：特定的晶體生長工藝通常是企業(yè)的高度機(jī)密，定制化晶體生長平臺對于驗(yàn)證和優(yōu)化其工藝至關(guān)重要。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案，以滿足行業(yè)獨(dú)特的工藝和知識產(chǎn)權(quán)需求，從而實(shí)現(xiàn)無縫擴(kuò)展以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。

　　·靈活性：“SiCN”的設(shè)計(jì)可采用和更換成熟供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)組件以及定制組件，保證設(shè)備可以使用最新的研發(fā)成果，實(shí)現(xiàn)持續(xù)的技術(shù)進(jìn)步。

　　·可靠生產(chǎn)：“SiCN”系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊，自動化程度高，可最大化節(jié)約整體運(yùn)營空間，同時方便維護(hù)，可實(shí)現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產(chǎn)。客戶還可整合如加料小車、多種真空泵選項(xiàng)和測量設(shè)備等其他部件，進(jìn)一步提升系統(tǒng)功能。

　　·高生產(chǎn)效能：晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運(yùn)行，因此優(yōu)異的能源效率可以實(shí)現(xiàn)更佳的成本效益。“SiCN”采用經(jīng)驗(yàn)證的低能耗感應(yīng)線圈設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高效率的感應(yīng)加熱，有效降低能耗，優(yōu)化生產(chǎn)成本。

　　德國PVA TePla集團(tuán)已在全球范圍內(nèi)銷售SiC晶體生長系統(tǒng)，并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應(yīng)商共同研發(fā)并為其提供長晶設(shè)備，其設(shè)備穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關(guān)鍵作用。

　　建立中國供應(yīng)鏈與本土化配套服務(wù)

　　目前，德國PVA TePla集團(tuán)已在中國建立生產(chǎn)基地、演示中心及供應(yīng)鏈中心，旨在將高端設(shè)備國產(chǎn)化，以更好地助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。同時，為了貼合本土市場需求，德國PVA TePla集團(tuán)也在進(jìn)一步完善本地團(tuán)隊(duì)技術(shù)服務(wù)，加強(qiáng)與下游合作伙伴的研發(fā)合作，并且提供更加專業(yè)化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)能力。

　　隨著中國成為全球碳化硅的重要生產(chǎn)基地，德國PVA TePla集團(tuán)將持續(xù)深耕中國市場，加強(qiáng)本土化生產(chǎn)供應(yīng)與配套服務(wù)能力，深化本地創(chuàng)新研發(fā)合作，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

　　關(guān)于德國PVA TePla集團(tuán)(德國普發(fā)拓普)

　　德國PVA TePla集團(tuán)是全球領(lǐng)先的材料和測量測試技術(shù)領(lǐng)域高科技解決方案供應(yīng)商。憑借廣泛的創(chuàng)新產(chǎn)品、工藝和服務(wù)組合，PVA TePla支持客戶克服許多不同行業(yè)的苛刻挑戰(zhàn)。作為系統(tǒng)供應(yīng)商，PVA TePla為材料加工、精煉生產(chǎn)、復(fù)雜工藝提供可靠保障。從概念到加工，PVA TePla為半導(dǎo)體材料、晶體、光學(xué)元件和其他高科技材料的生產(chǎn)提供系統(tǒng)和解決方案。在測量測試領(lǐng)域，PVA TePla也針對廣泛應(yīng)用提供高精度測量和分析設(shè)備，包括從表面檢測到3D檢測，從而有助于質(zhì)量控制，過程監(jiān)控和缺陷分析。通過這些方案和服務(wù)，PVA TePla支持客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量，優(yōu)化生產(chǎn)流程，增強(qiáng)其在市場上的競爭力。