| 諧振微懸臂梁傳感器的工作原理及其在生化檢測中的研究進展 | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：zhoubin333 | |
| 文檔大?。?span>7038 K | |
| 標簽： 諧振式傳感器 微懸臂梁 微機電系統 | |
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| 文檔介紹：諧振微懸臂梁是一種可以將質量變化轉換為頻率信號的微質量型傳感器，因其分辨率高、靈敏度高、成本低、易于集成和小型化等優點而備受關注。諧振微懸臂梁現已被廣泛應用于流量控制、生物醫學痕量檢測、氣態和液態分子分析等領域。近年來，隨著微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技術的快速發展，針對諧振式微懸臂梁傳感器的研究與應用越來越多，對近年來諧振式微懸臂梁傳感器在環境檢測、生物醫學等領域的具體應用進行了綜述，并對未來的發展方向做出了展望。 | |
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