1.背景介紹

　　電子半導(dǎo)體行業(yè)近幾年發(fā)展特別快，隨之而來(lái)的是生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生了大量的有毒有害廢水，包括酸堿廢水、含氟廢水、金屬?gòu)U水、有機(jī)廢水、氰化物廢水等，這些廢水必須經(jīng)過(guò)處理達(dá)標(biāo)后才能排放。目前，電子半導(dǎo)體行業(yè)沒(méi)有針對(duì)性的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布，其執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)仍為《污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》，但是，電子半導(dǎo)體企業(yè)對(duì)廢水排放有嚴(yán)格的內(nèi)控指標(biāo)。電子半導(dǎo)體企業(yè) 除了監(jiān)控 COD、氨氮等常規(guī)指標(biāo)外，也非常重視砷、鉛等一類(lèi)重金屬污染物的排放量。

　　廈門(mén)某電子公司于 2015 年采購(gòu)了一臺(tái) XOS 總砷分析儀，用于排口廢水總砷監(jiān)測(cè)，測(cè)試數(shù) 據(jù)通過(guò) MODBUS 通訊(儀表自帶 RS485 接口)傳輸至 PLC，實(shí)時(shí)上傳至當(dāng)?shù)丨h(huán)保局。儀表從企業(yè) 正常生產(chǎn)后開(kāi)始運(yùn)行，連續(xù)運(yùn)行兩個(gè)多月無(wú)需維護(hù)，測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定，用戶(hù)反饋較好。

　　XOS總砷分析儀

　　2.應(yīng)用情況

　　主要儀器：XOS 總砷分析儀、CYQ 預(yù)處理器。

　　右圖為現(xiàn)場(chǎng)安裝圖。儀表初次安裝不需要校準(zhǔn)，為檢查儀表的 測(cè)量準(zhǔn)確性，配制了 0.4 mg/L 的標(biāo)液，使用儀表自帶的標(biāo)樣核查功 能，測(cè)量結(jié)果為 0.399 mg/L。XOS 總砷分析儀與 CYQ 預(yù)處理器聯(lián)動(dòng)， 按設(shè)定時(shí)間定時(shí)抽取水樣進(jìn)行分析。CYQ 預(yù)處理器的作用是自清洗進(jìn)樣管路和提供連續(xù)的流速穩(wěn)定的水樣，確保儀表正常運(yùn)行，減少 維護(hù)量。

　　為保證測(cè)量準(zhǔn)確性，儀表每天設(shè)置 1 次背景修正，以去除懸浮物附著在膜片上對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。安裝后連續(xù)測(cè)量?jī)蓚€(gè)多月，測(cè) 量數(shù)據(jù)穩(wěn)定在 0.15～0.30 mg/L 之間，滿(mǎn)足 0.5mg/L 的排放要求。運(yùn)行期間無(wú)需人為維護(hù)，儀器表現(xiàn)出較好的測(cè)量穩(wěn)定性，與實(shí)驗(yàn)室測(cè) 量結(jié)果比對(duì)一致性較好，用戶(hù)較為滿(mǎn)意。

　　3．總結(jié)

　　（1）XOS 總砷分析儀采用單色波長(zhǎng)色散 X 射線(xiàn)熒光法，運(yùn)行期間不需使用任何化學(xué)試劑，不受懸浮物、色度及其他金屬離子干擾，測(cè)量穩(wěn)定性較好，維護(hù)量極低，可滿(mǎn)足電子半導(dǎo)體廢水 的在線(xiàn)監(jiān)測(cè)要求。

　　（2）XOS 總砷分析儀初次安裝無(wú)需校準(zhǔn)，校準(zhǔn)周期為 3‐6 個(gè)月；與動(dòng)力窗模塊配套使用時(shí)， 可大大降低維護(hù)量，最大限度降低維護(hù)成本。

　　（3）XOS 重金屬已獲得環(huán)保認(rèn)證，可用于廢水排口總砷、總鉛監(jiān)測(cè)。

　　案例類(lèi)型：

　　應(yīng)用案例-XOS-TAs 在電子半導(dǎo)體排放廢水監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用-電子半導(dǎo)體行業(yè)-2017.6.9

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