在光學系統中，影響其性能的主要原因是由系統內部產生的大量散射光造成的，而產生這些散射光的根本原因，又在于光學元件自身的質量，即使整個光學系統設計得再好，如果內部光學元件的質量不過關 ，那么構成的系統也不能正常工作。

　　因此需要提高光學元件本身的質量來改善散射光所帶來的問題。雖然光學系統的窗口或系統內部也可能會產生散射光，但這種散射光能量較小，大部分的散射光是由光 學元件表面散射造成的。

　　通常表面產生的散射光能量要比內部散射至少大1 至 2 個數量級，所以光學元件表面質量好壞與否，將直接影響光學系統的整體性能。

　　導致光學元件表面發生散射現象的原因有很多，例如表面的麻點、劃痕、破邊、開口氣泡以及粗糙度 等表面微結構，還有可能是表面膜層厚度、薄膜材料折射率不均勻等各種問題。

　　通常對比表面入射光波長與散射源尺寸的大小，將散射源大致分為三類：

　　1，散射源的尺寸遠大于入射光波長，這種散射源就是通常說的疵病，如劃痕、麻點、破邊等。

　　2，散射源的尺寸和入射光波長處于同一數量級的單一離散不規則顆粒物，這類散射源稱作離散 微粒。

　　3，入射光波長遠大于散射源的尺寸，這種散射源在空間中精密排列，對光的散射表現在空間上的相互作用的綜合結果，因此不能當作獨立的散射源來處理。這種散射源通常被稱作不規則微量散射，最典型的此類散射源就是表面粗糙度。

　　以上三種散射源具有不同的特性，所以就需要相對應的散射理論來解釋這些散射源所引起的散射現象。

　　對于第一類散射源，在三種類型中比較容易被發現，通過簡單的幾何光學就能解釋它的散射現象。

　　而幾何光學對第二種散射源則不再適用，這類散射源獨立分布且散射中心可以互不干擾，所以需要利用米氏散射理論來處理，其中特殊情況還能用瑞利散射解釋。

　　第三種散射源隨機不規則分布，它們的平均高度只有納米級，這類散射源也被稱為粗糙度散射。

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