8月7日消息，日前，河南東微電子材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱"東微電子"）宣布，其自主研發(fā)的光刻機(jī)用直線電機(jī)、光源、光纖、磁座等關(guān)鍵零部件，正式通過中芯國(guó)際和長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)嚴(yán)格認(rèn)證。

東微電子表示，這不僅是一次技術(shù)突破，更是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中邁出的堅(jiān)實(shí)一步。

據(jù)了解，2021年12月，國(guó)家五部門聯(lián)合發(fā)布的《重大技術(shù)裝備和產(chǎn)品進(jìn)口關(guān)鍵零部件、原材料商品目錄（2021年版）》明確將光刻機(jī)用直線電機(jī)列為關(guān)鍵“卡脖子”項(xiàng)目，直線電機(jī)的制造和生產(chǎn)技術(shù)對(duì)我國(guó)打破國(guó)外光刻機(jī)技術(shù)壟斷具有重要意義。

面對(duì)技術(shù)封鎖，東微電子組建技術(shù)攻堅(jiān)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)多年研究，對(duì)光刻機(jī)用關(guān)鍵零部件的特殊性能指標(biāo)、極端使用環(huán)境和精密制備工藝發(fā)起全面攻關(guān)，對(duì)標(biāo)國(guó)際頂尖，解決國(guó)產(chǎn)痛點(diǎn)。

據(jù)介紹，直線電機(jī)是光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的核心零部件。

光刻機(jī)需將電路圖案以納米級(jí)精度“雕刻”在硅片上，直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)和掩模臺(tái)進(jìn)行高速、超精密直線運(yùn)動(dòng)，其性能決定了定位精度和運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性。

隨著芯片制程進(jìn)入納米時(shí)代，傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)+傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的方式已難以滿足，直線電機(jī)憑借直接驅(qū)動(dòng)、無機(jī)械損耗、響應(yīng)快、精度高等優(yōu)勢(shì)成為唯一選擇。

高端光刻機(jī)用直線電機(jī)技術(shù)門檻極高，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)嚴(yán)重依賴進(jìn)口。

東微電子官網(wǎng)顯示，公司于2018年落戶河南省鄭州市航空港實(shí)驗(yàn)區(qū)，并在上海、北京、無錫、廈門等地設(shè)有研發(fā)生產(chǎn)基地。

公司致力于成為高端集成電路制造用材料和設(shè)備零部件一站式服務(wù)平臺(tái)，為中國(guó)半導(dǎo)體解決“卡脖子”難題。