| 使用最小二乘迭代相移方法測量透明元件 | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：aetmagazine | |
| 文檔大小：1560 K | |
| 標(biāo)簽： 干涉 最小二乘迭代算法 相移算法 | |
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| 文檔介紹：為了更精確地測量透明平板前后兩個(gè)面的面形相位發(fā)布，提出了一種基于最小二乘迭代的相移算法。通過一次最小二乘相移算法后，可以得到相應(yīng)的透明平板面形圖，但是由于初始得到的相位值存在誤差，因此得到的面形圖精度并不會(huì)很高。因此需要通過得到的面形圖推導(dǎo)出準(zhǔn)確的相位值，本算法通過最小二乘發(fā)多次迭代的方法，計(jì)算出較準(zhǔn)確的初始相移值。對該方法進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn)后，可知此算法的測量精度較高且抗噪能力比較好，仿真得到面形圖的PV值與RMS值誤差值均小于0.006λ。在實(shí)際測量結(jié)果中，得到測量結(jié)果的PV值誤差小于0.09λ，RMS誤差小于0.02λ。測量到的面形與物體真實(shí)面形接近，測量精度較高。 | |
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