| 熱場發(fā)射電子槍在電子束光刻機中的應用研究 | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：aetmagazine | |
| 文檔大小：667 K | |
| 標簽： 熱場發(fā)射電子槍 電子束束流 電子束束斑 | |
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| 文檔介紹：介紹了電子槍的分類與特點，重點介紹了熱場發(fā)射電子槍的原理、結(jié)構(gòu)、特點及在電子束光刻機中的應用。闡述了電子束光刻機束流與電子槍提取極電流之間關(guān)系，并分析了熱場發(fā)射電子槍各個參數(shù)對提取極電流的影響。研究了熱場發(fā)射電子槍的調(diào)校對電子束光刻工藝的影響，并通過實驗得出束斑與束流的關(guān)系。最后通過調(diào)整電子槍參數(shù)，制備了不同的光刻圖形，滿足了不同的光刻工藝要求，驗證了分析的結(jié)論。 | |
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